| TOP出展社一覧(カテゴリー別検索)パネル製造用関連装置アッシング装置

アッシング装置 [情報掲載:2件]

  • 積水化学工業
    積水化学の常圧プラズマソリューションにご期待下さい

    積水化学の常圧プラズマは、革新的な技術ソリューションを提案し続けており

    多くのFPDおよびフィルム製造での各アプリケーションに展開しております。

    表面処理/改質、エッチング、アッシングと大型ワークにも対応可能な装置ライ

    ンアップを紹介いたします。

    出展製品APEシリーズ 常圧プラズマエッチング装置、RTシリーズ 常圧プラズマ表面処理装置、APHシリーズ 常圧プラズマ表面改質装置、RDシリーズ 常圧プラズマ連続フィルム表面処理装置、APDシリーズ 常圧プラズマデスカム装置
  • 東京エレクトロン
    FPDプラズマエッチング/アッシング装置とFPDコータ/デベロッパ装置をご紹介致します。

    東京エレクトロンでは、豊富な納入実績と技術力を駆使して開発されたFPDプラズマエッチング/アッシング装置とFPDコータ/デベロッパ装置をご紹介致します。

    プラズマエッチング/アッシング装置では『HT-シリーズ』と『Impressio(TM)』を、コータ/デベロッパ装置では『CS1000』と『Exceliner(TM)』を、また今回新たに『TAC(TEL Advanced Coater)』をご紹介させて頂きます。

    出展製品コータ/デベロッパ装置「Exceliner(TM)」、ドライエッチング/アッシング装置「Impressio(TM)」