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小間番号:6111

  • 東京エレクトロン
    出展社名東京エレクトロン株式会社
    担当部署名FPD事業本部
    所在地東京都東京都港区赤坂5-3-1
    電話番号03-5561-7000
    URLhttp://www.tel.co.jp/
    FPDプラズマエッチング/アッシング装置とFPDコータ/デベロッパ装置をご紹介致します。

    東京エレクトロンでは、豊富な納入実績と技術力を駆使して開発されたFPDプラズマエッチング/アッシング装置とFPDコータ/デベロッパ装置をご紹介致します。

    プラズマエッチング/アッシング装置では『HT-シリーズ』と『Impressio(TM)』を、コータ/デベロッパ装置では『CS1000』と『Exceliner(TM)』を、また今回新たに『TAC(TEL Advanced Coater)』をご紹介させて頂きます。

    出展製品1コータ/デベロッパ装置「Exceliner(TM)」
    出展製品2ドライエッチング/アッシング装置「Impressio(TM)」