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小間番号:6114

  • ニレコ
    出展社名株式会社ニレコ
    担当部署名東京検査機営業課
    所在地東京都八王子市石川町2951-4
    電話番号042-660-7330
    FAX番号042-644-6658
    E-maile105e110e102e111e45e107e101e110e115e97e64e110e105e114e101e99e111e46e99e111e46e106e112
    URLhttp://www.nireco.jp
    垂直屈折率測定を可能にして超薄膜オンライン測定を実現した垂直反射干渉色膜厚計

    ?垂直反射計測に必須となる垂直屈折率測定方法を新規開発した。これにより反射干渉色変化から理論的に超薄膜(1~100nm)の膜厚を計測可能とした。 

    PV法の領域でも屈折率が測定可能になり、膜厚計測精度の向上を実現した。

    ?透過率・擬似ヘイズ値・反射率同時測定結果の組み合わせにより、光の吸収効果を利用した色干渉しない材料の膜厚計測が可能です。