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小間番号:6611

  • 長州産業
    出展社名長州産業株式会社
    担当部署名業務部業務課
    所在地山口県山陽小野田市新山野井3740
    電話番号0836-72-3177
    FAX番号0836-72-3150
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    URLhttp://www.choshu.co.jp
    有機EL蒸着装置および封止装置

    自社開発の蒸着装置、封止装置にて作製した有機ELパネルの展示を行います。

    有機EL蒸着装置は自社内で素子製作を行い、改良を重ねた装置です。

    成膜分布、材料使用効率の両面で高性能を誇る蒸発源を備え

    有機EL量産に適した装置です。

    新規開発品では大面積に蒸着可能なインライン方式装置の開発に成功しました。

    ミラートロンスパッタはターゲットの使用効率が高く且つ基板温度の上昇を

    抑えることができ、低ダメージにて成膜可能なスパッタ方式です。

    電極膜、封止膜成膜に最適です。